联系人:白鹏程
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在SEM样品表面附着一层金属薄膜,可以提高样品的导电性,样品导电性的提升,可以提高样品在与电子束相碰撞时产生的二次电子量,从而获得鲜明的图像。Coater就是这样一款附加设备
技术参数
1.样品室尺寸:Φ120mm x 65mm
2.样品台尺寸:Φ50mm
2.可设定电流:1~10mA
3.靶材 :Au
4.靶材使用寿命:700-1000次
5.设备外型尺寸:180(W)x310(D)x310(H)mm
6.设备重量 :15kg
7.电源 :AC220V ±10%,50/60Hz
设备构成
1.主体一台
2. 标配金靶材1EA
3. 外置真空泵