分辨率
| 5nm (30kV, SE Image)
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放大倍率
| 30x~100,000x (有效放大倍率60,000x)
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加速电压
| 5kV to 30kV (5Kv/10Kv/15kV/20kV/30Kv-5 step)
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图像
| 二次电子图像-(SEI)-Secondary Electron Image
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Observation mode
| Standard Mode
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电子枪系统
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灯丝类型
| 预对中钨灯丝
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偏压系统
| 自动偏压方式
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电子枪校正
| 手动方式
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透镜构成
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聚光镜
| 2段式磁线圈透镜
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物镜
| 1段式磁线圈透镜
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探测器类型
| E-T Detector
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载物台系统
| 5轴操控,X, Y-axis : 40mm / R-axis : 360°,Z : 0~35mm / Tilt-axis : 0~45°
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Image shift
| X, Y Image Shift (100㎛)
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样品最大尺寸
| 80mm in diameter, 35mm in height
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图像扫描速度
| 快速扫描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)
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低速扫描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.)
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图片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.)
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图片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.)
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自动功能
| 自动启动,自动聚焦,自动亮度对比度调节
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图像存储方式
| BMP, JPEG, PNG
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数据显示
| 放大倍率,探测器类型,电压,真空模式,文本,标尺等
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真空系统
| 全自动型/高者空模式+低真空模式(Multi mode)
(旋转式机械泵)Rotary Pump/100Liters/min
(涡轮式分子泵)Turbo Molecular Pump/ 80Liters/sec
抽真空时间:3分钟以内
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操控系统
| 鼠标和键盘
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运行系统
| 电镜专用台式电脑
OS : Microsoft Window 7
CPU : Intel CoreTM i5 or High version
Memory / HDD : 2GB / 500GB or High version
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软件
| 图像文件打开,编辑,存储功能
长度,面积,角度等测量功能
设置数值初始化,图像拍摄模式转换,Archives, Setting(EDS)模式等
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体积
| 设备主机-390(W)×330(D)×560(H)mm……1set
控制主机-390(W)×315(D)×560(H)mm……1set
外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm …1set
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重量
| 98kg
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设备环境
| 温度:15℃~30℃
湿度:70% or less
电源:Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz |