1.分辨率: 15nm (30kV, SE Image)
2.放大倍率:30x~60,000x (有效放大倍率30,000x)
3.加速电压 :5kV to 30kV (5Kv/10Kv/15kV/20kV/30Kv-5 step)
4.滤镜:A集束滤镜:双段磁性线圈
B物 镜:单段磁性线圈
5. 光圈类型:CL(1000um-5EA), OL (200um-1EA)
6.样品最大尺寸 :70mm in diameter, 30mm in height
7.载物台系统:X,Y,R 3轴操作及光束位移功能,X,Y轴的移动方向最大到100μm
- X, Y-axis : 35mm / R-axis : 360°
- Image shift: ±150㎛
-工作距离:8mm
8.灯丝:预对中钨灯丝,搭载韦氏帽,灯丝使用寿命不低于80小时
9.检测器:二次电子接收器(E-T接收器类型)
10.真空系统:高真空模式,抽真空时间:150秒以内,释放时间:40秒以内。
11. 安装环境:对安装场所无制约,可以放置在一般的实验室平台上,总安装空间在1200mm*750mm之内
12.图像扫描速度
快速扫描 (Fast Scan): 320x240 (Scan time: 0.1 sec.)
低速扫描 (Slow Scan): 640x480 (Scan time: 3 sec.)
图片模式1(Photo Mode 1): 1280x960 (Scan time: 30sec.)
图片模式2(Photo Mode 2): 2560x1920 (Scan time: 60sec.)
13.自动功能
自动启动,自动聚焦,自动亮度对比度调节
14.图像存储方式
BMP, JPEG, PNG
15.数据显示
放大倍率,探测器类型,电压,真空模式,文本,标尺等
16.真空系统
全自动型/高者空模式
-(旋转式机械泵)Rotary Pump/100Liters/min
-(涡轮式分子泵)Turbo Molecular Pump/ 80Liters/sec
操控系统:只需要靠鼠标和键盘就可以进行操作
运行系统:电镜专用电脑
-OS : Microsoft Window 7
-CPU : Intel CoreTM i5 or High version
-Memory / HDD : 4GB / 500GB or High version
软件:
-图像文件打开,编辑,存储功能
-长度,面积,角度等测量功能
-设置数值初始化,图像拍摄模式转换,Archives, Setting(EDS)模式等
体积:
设备主机-390(W)×640(D)×560(H)mm……1set
外置真空泵-400(W)×160(D)×340(H)mm …1set
重量:90kg
设备环境:
-温度:15℃~30℃
-湿度:70% or less
-电源:Single phase 100~240V AC, 1KW, 50/60Hz